클린룸과 장비

클린룸에서 입자가 아닌 가스 상태의 오염 물질(산, 알칼리, 유기물 등)을 가리키는 용어는 무엇인가?

  1. A파티클 오염
  2. B분자 오염(AMC)
  3. C정전기 방전(ESD)
정답과 해설 보기

정답: B. 분자 오염(AMC)

AMC(Airborne Molecular Contamination)는 공기 중에 포함된 산성·염기성 가스, 유기물, 도펀트 등의 분자 상태 오염 물질입니다. 분자는 입자보다 훨씬 작아 일반 필터로는 제거되지 않으므로 케미컬 필터로 제거합니다. 암모니아는 화학 증폭형 레지스트의 산을 중화시키고, 유기물은 웨이퍼 표면에 부착되어 막의 밀착이나 접합을 나쁘게 합니다. ESD는 정전기 방전을 말합니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

클린룸과 장비의 다른 문제

  1. 300 mm 웨이퍼 공장에서 FOUP을 천장 레일을 따라 장비 사이로 자동 반송하는 시스템은 무엇인가?
  2. 클린룸 입구에서 작업자에게 강한 청정 공기를 뿜어 의복 표면의 먼지를 떨어내는 설비는 무엇인가?
  3. 클린룸, 특히 노광 구역에서 온도를 매우 엄격하게 일정하게 유지하는 주된 이유는 무엇인가?
  4. 노광 장비 등 정밀 장비에서 바닥으로부터 전달되는 진동의 영향을 억제하기 위해 사용하는 것은 무엇인가?
  5. 클린룸에서 공기 중에 이온을 공급하여 웨이퍼나 장비의 대전을 중화하는 장치는 무엇인가?