クリーンルーム、特に露光エリアで温度を非常に厳しく一定に保つ主な理由はどれか。

正解：B. ウエハや装置の熱膨張による位置ずれや寸法の誤差を防ぐため

シリコンや装置の部材は温度によってわずかに伸び縮みします。露光ではナノメートル単位の重ね合わせ精度が求められるため、温度がわずかに変わるだけでも位置ずれの原因になります。そのため露光装置の周辺などでは、温度を非常に狭い範囲で管理しています。