Effect waarbij de elektrische soortelijke weerstand van een materiaal verandert onder mechanische spanning. Is bij silicium bijzonder groot en wordt gebruikt voor onder meer halfgeleiderdruksensoren.
Japanse benaming: ピエゾ抵抗効果
“Piëzoresistief effect” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. MEMS en sensoren.
Vakgebied: MEMS en sensoren
Antwoord: A. Het effect waarbij de elektrische weerstand van een materiaal verandert onder mechanische spanning
Bij silicium verandert onder mechanische spanning de bandstructuur van het kristal, waardoor de soortelijke weerstand tientallen malen sterker verandert dan bij metalen rekstrookjes (piëzoresistief effect). Als op de rand van een dun membraan dat onder druk vervormt vier weerstanden worden aangebracht en de weerstandsverandering met een Wheatstone-brug wordt gedetecteerd, wordt druk omgezet in een elektrisch signaal. Het wordt gebruikt voor motor- en bandenspanning van auto's, bloeddrukmeters en barometers; temperatuurcompensatie is de sleutel in het ontwerp.
Bij silicium verandert onder mechanische spanning de bandstructuur van het kristal, waardoor de soortelijke weerstand tientallen malen sterker verandert dan bij metalen rekstrookjes (piëzoresistief effect).
Welke uitspraak over het piëzoresistieve effect, toegepast …Anodische verbinding (anodic bonding) Boschproces (Deep RIE) Capacitieve detectie Corioliskracht Gyroscoop Hall-element MEMS Opofferingslaag-etsen (sacrificial layer etching) Stiction Versnellingssensor