Effet par lequel la résistivité d'un matériau varie sous l'effet d'une contrainte mécanique. Particulièrement marqué dans le silicium, il est exploité dans les capteurs de pression à semi-conducteur.
Nom japonais: ピエゾ抵抗効果
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Domaine: MEMS et capteurs
Réponse : A. Effet par lequel la résistivité électrique d’un matériau varie sous l’application d’une contrainte mécanique
Sous contrainte, la structure de bandes du silicium cristallin est modifiée et sa résistivité varie plusieurs dizaines de fois plus que celle d’une jauge de déformation métallique (effet piézorésistif). En intégrant quatre résistances sur le bord d’une fine membrane qui se déforme sous la pression et en détectant la variation de résistance avec un pont de Wheatstone, on convertit la pression en signal électrique. Ces capteurs servent pour la pression des moteurs et des pneus automobiles, les tensiomètres, les baromètres, etc. ; la compensation en température est la clé de la conception.
Sous contrainte, la structure de bandes du silicium cristallin est modifiée et sa résistivité varie plusieurs dizaines de fois plus que celle d’une jauge de déformation métallique (effet piézorésistif).
Quelle description de l’effet piézorésistif, utilisé notamm…Accéléromètre Capteur à effet Hall Détection capacitive Force de Coriolis Gravure de couche sacrificielle Gyroscope MEMS Procédé Bosch (Deep RIE) Soudure anodique Stiction (adhérence)