Wat is Anodische verbinding (anodic bonding)?

Methode waarbij silicium en natriumhoudend glas op elkaar worden gelegd en onder verhitting en spanning aan elkaar worden verbonden. Wordt onder meer gebruikt voor het afdichten van MEMS.

Japanse benaming: 陽極接合

Vakgebied: MEMS en sensoren

Verwante termen

Boschproces (Deep RIE) Capacitieve detectie Corioliskracht Gyroscoop Hall-element MEMS Opofferingslaag-etsen (sacrificial layer etching) Piëzoresistief effect Stiction Versnellingssensor

Naar de woordenlijst