Wat is Capacitieve detectie?

Methode om verplaatsing, druk enzovoort te detecteren uit de verandering van de capaciteit tussen een beweegbare en een vaste elektrode. Veel gebruikt in MEMS-sensoren.

Japanse benaming: 静電容量検出

Vakgebied: MEMS en sensoren

Vergelijkingen met deze term

Capacitieve versus piëzoresistieve MEMS-sensoren: principe, verbruik en toepassingenCapacitieve en piëzoresistieve MEMS-sensoren vergeleken: versnellings- en druksensoren, uitleesschakeling, ve…

Verwante termen

Anodische verbinding (anodic bonding) Boschproces (Deep RIE) Corioliskracht Gyroscoop Hall-element MEMS Opofferingslaag-etsen (sacrificial layer etching) Piëzoresistief effect Stiction Versnellingssensor

Naar de woordenlijst