Was ist Piezoresistiver Effekt?

Änderung des spezifischen elektrischen Widerstands eines Materials unter mechanischer Spannung. Er ist bei Silizium besonders groß und wird in Halbleiter-Drucksensoren und Ähnlichem genutzt.

Japanische Bezeichnung: ピエゾ抵抗効果

Fachgebiet: MEMS und Sensoren

Verwandte Begriffe

Anodisches Bonden Beschleunigungssensor Bosch-Prozess (Deep RIE) Coriolis-Kraft Drehratensensor (Gyroskop) Hall-Sensor Kapazitive Detektion MEMS (mikroelektromechanische Systeme) Opferschichtätzen Stiction (Haftreibung in MEMS)

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