Wat is Necking?

Stap aan het begin van het trekken bij de CZ-methode waarbij direct na het entkristal een dunne hals wordt gegroeid. Dislocaties door de thermische schok bij het in de smelt dopen van het entkristal worden naar buiten afgevoerd, zodat een dislocatievrij kristal ontstaat.

Japanse benaming: ネッキング

“Necking” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Siliciumwafers.

Vakgebied: Siliciumwafers

Nu oefenen: vragen over Necking

Wat is het doel van het dun laten groeien (necking) van het kristal direct na het zaadkristal aan het begin van het trekken bij de CZ-methode?

  1. AZaadkristal besparen
  2. BDe zuurstofconcentratie verhogen
  3. CDe dislocaties die bij onderdompeling van het zaadkristal in de smelt door thermische schok zijn ontstaan naar buiten het kristal laten verdwijnen, zodat een dislocatievrij kristal ontstaat
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. De dislocaties die bij onderdompeling van het zaadkristal in de smelt door thermische schok zijn ontstaan naar buiten het kristal laten verdwijnen, zodat een dislocatievrij kristal ontstaat

Wanneer het zaadkristal in de hete smelt wordt gedompeld, ontstaan door thermische schok dislocaties. Als het kristal met een diameter van circa 3 tot 5 mm dun wordt gegroeid, lopen de dislocaties doordat ze schuin ten opzichte van de groeirichting verlopen naar het kristaloppervlak uit, en daarna kan een dislocatievrij monokristal dik worden gegroeid (Dash-methode, 1958). Ook ingots van enkele honderden kg bij 300 mm worden aan deze dunne hals omhooggetrokken.

Vragen met “Necking” (1)

  1. Wat is het doel van het dun laten groeien (necking) van het kristal direct na het zaadkristal aan het begin van het trekken bij de CZ-methode?

Verwante termen

Numerieke apertuur (NA) Czochralski-methode (CZ-methode) DZ (denuded zone) Floating-zonemethode (FZ-methode) Gettering Ingot Kristaloriëntatie MCZ-methode (magnetic Czochralski) Monitorwafer Segregatiecoëfficiënt

Naar de woordenlijst