Hoe heet een gebruikte monitorwafer waarvan de lagen aan het oppervlak zijn verwijderd en die opnieuw is gepolijst zodat hij weer kan worden gebruikt?

Antwoord: B. Reclaimwafer

Monitorwafers en dummywafers worden in fabrieken in grote aantallen gebruikt; na gebruik worden de lagen en verontreiniging aan het oppervlak met etsen en polijsten verwijderd en wordt het oppervlak weer tot een spiegel afgewerkt en hergebruikt. Dit is een reclaimwafer, die goedkoper is dan een nieuwe en ook grondstoffen bespaart. Eén wafer kan enkele keren worden gereclaimd en wordt daarbij telkens iets dunner. Er zijn ook bedrijven die zich hierin specialiseren; het is voor de kwaliteit essentieel metaalverontreiniging betrouwbaar te verwijderen.