Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Wat is de belangrijkste reden dat dopantgassen zoals diboraan en fosfine in veel gevallen verdund met waterstof of stikstof tot een lage concentratie worden geleverd?

  1. AOm de kleur van het gas te veranderen
  2. BOmdat de benodigde hoeveelheid zeer klein is en de stroom zo nauwkeuriger te regelen is, en om het risico van giftigheid en reactiviteit te verlagen
  3. COm de geur te versterken
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Omdat de benodigde hoeveelheid zeer klein is en de stroom zo nauwkeuriger te regelen is, en om het risico van giftigheid en reactiviteit te verlagen

Omdat de toe te voegen hoeveelheid dopant zeer klein is, is de stroom van zuiver gas te klein om nauwkeurig met een massaflowcontroller te regelen. Verdund met waterstof of stikstof tot enkele procenten tot ppm-niveau kan de benodigde hoeveelheid nauwkeurig met een goed hanteerbare stroom worden toegevoerd. Verdunning verlaagt ook de concentratie bij lekkage en vermindert het gevaar van giftigheid en spontane ontbranding. Zuiver diboraan ontleedt zelfs bij kamertemperatuur geleidelijk, dus verdunning helpt ook voor de stabiliteit.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Welke maatstaf wordt vaak gebruikt om de hoeveelheid sporen water in hoogzuivere gassen weer te geven?
  2. Welke methode is juist om bij kamertemperatuur vloeibare grondstoffen (zoals TEOS) als gas aan CVD-apparatuur te leveren?
  3. Welke methode van afdichting, waarbij een metalen pakking vlak wordt platgedrukt, wordt veel gebruikt voor koppelingen van hoogzuivere gasleidingen?
  4. Welke degradatie treedt gemakkelijk op wanneer kwartsonderdelen in een oven lang bij hoge temperatuur worden gebruikt?
  5. Wat is de reden dat in gasleidingen een ontwerp met zo min mogelijk doodlopende delen (dead space) waar gas niet doorstroomt maar blijft staan wordt vereist?