Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)
Wat is de belangrijkste reden dat dopantgassen zoals diboraan en fosfine in veel gevallen verdund met waterstof of stikstof tot een lage concentratie worden geleverd?
- AOm de kleur van het gas te veranderen
- BOmdat de benodigde hoeveelheid zeer klein is en de stroom zo nauwkeuriger te regelen is, en om het risico van giftigheid en reactiviteit te verlagen
- COm de geur te versterken
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Omdat de benodigde hoeveelheid zeer klein is en de stroom zo nauwkeuriger te regelen is, en om het risico van giftigheid en reactiviteit te verlagen
Omdat de toe te voegen hoeveelheid dopant zeer klein is, is de stroom van zuiver gas te klein om nauwkeurig met een massaflowcontroller te regelen. Verdund met waterstof of stikstof tot enkele procenten tot ppm-niveau kan de benodigde hoeveelheid nauwkeurig met een goed hanteerbare stroom worden toegevoerd. Verdunning verlaagt ook de concentratie bij lekkage en vermindert het gevaar van giftigheid en spontane ontbranding. Zuiver diboraan ontleedt zelfs bij kamertemperatuur geleidelijk, dus verdunning helpt ook voor de stabiliteit.
Verder: nog 9 vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)