Welk apparaat in afzet- en etsapparatuur meet de gasstroom nauwkeurig en regelt die constant?

Antwoord: A. Massaflowcontroller (MFC)

Een massaflowcontroller is een apparaat dat met een sensor de massastroom van gas meet en met een ingebouwde klep op de ingestelde waarde houdt. Bij het gebruikelijke thermische type wordt de stroom bepaald uit het verschil in de warmte die het gas in een capillaire buis meevoert. Als eenheid voor de stroom wordt vaak sccm (cm³ per minuut onder standaardomstandigheden) gebruikt. Omdat afzettingssnelheid, laagsamenstelling en etsselectiviteit sterk met de stroom veranderen, wordt op elke gasleiding een MFC geplaatst.