Was ist Massendurchflussregler (MFC)?
Gerät in Abscheide- und Ätzanlagen, das den Massenstrom eines Gases genau misst und auf einem Sollwert hält.
Japanische Bezeichnung: マスフローコントローラ(MFC)
Fachgebiet: Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)
Verwandte Begriffe
Arsin (AsH3) Monosilan (SiH4) NF3 (Stickstofftrifluorid) Phosphin (PH3) Präkursor (precursor) Reinstwasser Spezialgase (specialty gases) TMAH