Defecten die steeds opnieuw op bepaalde patronen of plaatsen optreden, bijvoorbeeld door de wisselwerking tussen ontwerp en productieproces. Worden onderscheiden van willekeurige defecten door toevallige deeltjes en dergelijke.
Japanse benaming: システマティック不良
“Systematische defecten” komt voor in 2 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Testen en inspectie, Opbrengst en kwaliteitsbeheersing.
Vakgebied: Opbrengst en kwaliteitsbeheersing
Antwoord: A. Foutdiagnose (diagnosis)
Foutdiagnose is het proces waarbij de testresultaten van een defecte chip worden vergeleken met simulatieresultaten waarbij een fout wordt verondersteld, om de kandidaat-nets of -cellen waar de fout waarschijnlijk is op te treden te beperken. Omdat de locaties voor de doorsnede bij fysieke foutanalyse hierdoor kunnen worden beperkt, wordt de analysetijd sterk verkort. Bij volumediagnose, waarbij de diagnoseresultaten van veel defecte chips statistisch worden verzameld, worden systematische defecten gevonden die zich concentreren in bepaalde bedradingspatronen of cellen, wat helpt de yield te verbeteren.
Antwoord: A. Systematisch defect
Oorzaken van yieldverlies worden onderverdeeld in willekeurige defecten die kansmatig optreden, bijvoorbeeld door deeltjes, en systematische defecten die reproduceerbaar optreden bij een bepaalde layout of procesvoorwaarde. Systematische defecten verschijnen steeds op vaste plekken, bijvoorbeeld bij patroonvormen die bij belichting gemakkelijk smal worden. Door schaalverkleining is hun aandeel toegenomen en is DFM, dat ze in de ontwerpfase voorkomt, belangrijk geworden. Een soft error is een tijdelijke fout door straling.
Bij volumediagnose, waarbij de diagnoseresultaten van veel defecte chips statistisch worden verzameld, worden systematische defecten gevonden die zich concentreren in bepaalde bedradingspatronen of cellen, wat helpt de yield te verbeteren.
Hoe heet het proces waarbij uit de informatie over op welke…Oorzaken van yieldverlies worden onderverdeeld in willekeurige defecten die kansmatig optreden, bijvoorbeeld door deeltjes, en systematische defecten die reproduceerbaar optreden bij een bepaalde layout of procesvoorwaarde.
Hoe heet bij de oorzaken van yieldverlies een defect dat zi…Scantest Opbrengst (yield) Soft error APC (advanced process control) FMEA (failure mode and effects analysis) Killer defect Oorzaak-gevolgdiagram Paretodiagram Poisson-yieldmodel Procescapabiliteitsindex (Cpk)