Hoe heet een defect op de wafer dat daadwerkelijk een elektrisch defect van de chip veroorzaakt?

Antwoord: A. Killer defect

Niet elk bij inspectie gevonden defect leidt tot een defect product. Een defect dat een elektrisch defect veroorzaakt, zoals een groot vreemd deeltje dat zich over meerdere verbindingen uitstrekt, heet een killer defect. Uit de grootte, positie en laag van het defect wordt de kill ratio (het aandeel dat defect wordt) geschat om de invloed op de yield te voorspellen. Defecten die geen uitval veroorzaken en valse defecten die de inspectieapparatuur ten onrechte registreert, heten nuisance defects.