Verschijnsel bij LOCOS waarbij het oxide als een vogelsnavel onder de rand van het nitridemasker doordringt. Het verkleint het effectieve oppervlak van de componenten en is daarom bij verdere miniaturisatie vervangen door STI.
Japanse benaming: バーズビーク
“Vogelsnavel (bird's beak)” komt voor in 2 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Oxidatie en diffusie.
Vakgebied: Oxidatie en diffusie
Antwoord: C. Bird's beak
Bij LOCOS worden de delen die met een nitridefilm zijn bedekt niet geoxideerd, maar het oxidatiemiddel diffundeert zijdelings door de pad-oxide onder de nitridefilm en de oxidatie schrijdt voort, waardoor de oxidefilm als een vogelsnavel indringt (bird's beak). De indringing kan aan één zijde ongeveer de helft van de oxidedikte bedragen en vermindert het werkzame oppervlak van het element, dus werd LOCOS vanaf ongeveer de 0,25 µm-generatie door STI met gleuven vervangen. De pad-oxide is nodig om het silicium te beschermen tegen de spanning van de nitridefilm.
Bij LOCOS worden de delen die met een nitridefilm zijn bedekt niet geoxideerd, maar het oxidatiemiddel diffundeert zijdelings door de pad-oxide onder de nitridefilm en de oxidatie schrijdt voort, waardoor de oxidefilm als een vogelsnavel indringt (bird's beak).
Hoe heet bij LOCOS (selectieve oxidatie) het verschijnsel w…LOCOS, dat vroeger de hoofdmethode was, kon de isolatiebreedte niet verkleinen door het bird's beak, waarbij de oxidefilm zijdelings indringt, en liet ook stappen in het oppervlak achter, en werd vanaf ongeveer de 0,25 µm-generatie door STI vervangen.
Welke methode wordt hoofdzakelijk gebruikt voor elementisol…LOCOS STI (shallow trench isolation) CVD CMP FinFET Deal-Grove-model Drive-in Droge oxidatie Forming-gasanneal Grensvlaktoestanden (interface traps)