Siliciumwafers
Langs welk kristalvlak breekt (splijt) monokristallijn silicium het gemakkelijkst?
- A{100}-vlak
- B{111}-vlak
- C{110}-vlak
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. {111}-vlak
Silicium splijt het gemakkelijkst langs {111}-vlakken, omdat de energie om bindingen van de atomen in het {111}-vlak te verbreken het kleinst is. Bij een (100)-wafer ontstaan gemakkelijk rechte breuklijnen die elkaar haaks snijden langs de {110}-vlakken loodrecht op het oppervlak, en uit de richting van de breuk kan de kristaloriëntatie van de wafer worden afgeleid. Deze eigenschap wordt ook benut bij het breken van een chip om een doorsnede waar te nemen en bij scribing, het met de hand breken van een wafer.