Siliciumwafers
Welke omstandigheden worden tijdens het trekken voornamelijk aangepast om de diameter van een monokristallijne siliciumingot constant te houden?
- ATreksnelheid en smelttemperatuur
- BDe kleur van de ingot
- CDe helderheid van de verlichting in de fabriek
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Treksnelheid en smelttemperatuur
Bij de CZ-methode wordt de heldere ring (meniscus) op het grensvlak tussen kristal en smelt met een camera bewaakt, wordt hieruit de diameter bepaald, en worden de treksnelheid en het vermogen van de verwarming (smelttemperatuur) automatisch bijgeregeld om de diameter constant te houden. Sneller trekken maakt de ingot dunner en langzamer trekken dikker. Omdat de treksnelheid via V/G ook het type puntdefecten bepaalt dat in het kristal wordt opgenomen, is een nauwkeurige regeling nodig die zowel de diameter als de defecten in acht neemt.