Siliciumwafers

Welke methode onderdrukt bij de CZ-methode de convectie van de smelt door een magneetveld aan te leggen op de kroes, om onder meer de zuurstofconcentratie te regelen?

  1. AFZ-methode
  2. BMCZ-methode (CZ-methode met magneetveld)
  3. CBridgman-methode
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. MCZ-methode (CZ-methode met magneetveld)

Gesmolten silicium geleidt elektriciteit, zodat bij een aangelegd magneetveld op de bewegende smelt een tegengestelde kracht (Lorentzkracht) werkt die de convectie onderdrukt. Bij de MCZ-methode kan hiermee de opname van zuurstof die uit de kroes oplost in het kristal worden beperkt, en kunnen temperatuurschommelingen en daarmee groeistrepen worden verminderd, zodat de homogeniteit van het kristal toeneemt. Bij kristallen van 300 mm, waarbij de smeltmassa enkele honderden kg bedraagt, is de convectie hevig, zodat de MCZ-methode met een transversaal magneetveld standaard wordt gebruikt.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Siliciumwafers

  1. Welke omstandigheden worden tijdens het trekken voornamelijk aangepast om de diameter van een monokristallijne siliciumingot constant te houden?
  2. Welke reden waarom SiC-wafers moeilijk te produceren en duur zijn, is juist?
  3. Hoeveel inch wordt een siliciumwafer met een diameter van 300 mm bij benadering genoemd?
  4. Hoe heet de cilindervormige massa monokristallijn silicium, gegroeid met onder meer de CZ-methode, voordat deze tot wafers wordt gesneden?
  5. Wat is de juiste belangrijkste reden waarom siliciumwafers rond zijn?

Vergelijkingen bij dit onderwerp