Siliciumwafers
Welke methode onderdrukt bij de CZ-methode de convectie van de smelt door een magneetveld aan te leggen op de kroes, om onder meer de zuurstofconcentratie te regelen?
- AFZ-methode
- BMCZ-methode (CZ-methode met magneetveld)
- CBridgman-methode
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. MCZ-methode (CZ-methode met magneetveld)
Gesmolten silicium geleidt elektriciteit, zodat bij een aangelegd magneetveld op de bewegende smelt een tegengestelde kracht (Lorentzkracht) werkt die de convectie onderdrukt. Bij de MCZ-methode kan hiermee de opname van zuurstof die uit de kroes oplost in het kristal worden beperkt, en kunnen temperatuurschommelingen en daarmee groeistrepen worden verminderd, zodat de homogeniteit van het kristal toeneemt. Bij kristallen van 300 mm, waarbij de smeltmassa enkele honderden kg bedraagt, is de convectie hevig, zodat de MCZ-methode met een transversaal magneetveld standaard wordt gebruikt.