Plaquettes de silicium

Comment appelle-t-on un wafer moniteur usagé dont les couches de surface ont été éliminées et qui a été repoli pour être réutilisé ?

  1. AWafer SOI
  2. BWafer régénéré
  3. CWafer épitaxié
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Réponse : B. Wafer régénéré

Les wafers moniteurs et les wafers factices étant utilisés en grande quantité en usine, leurs couches et contaminations de surface sont éliminées après usage par gravure et polissage, puis ils sont repolis miroir et réutilisés. Ce sont les wafers régénérés, moins chers que les wafers neufs et économes en ressources. Un wafer peut être régénéré plusieurs fois, en s'amincissant légèrement à chaque fois. Des entreprises sont spécialisées dans la régénération, et l'élimination fiable de la contamination métallique est la clé de la qualité.

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