Welke methode wordt gebruikt om de soortelijke weerstand van een wafer contactloos te meten?

Antwoord: C. Meting met wervelstromen

Wanneer een wisselend magnetisch veld wordt aangelegd, vloeien wervelstromen in de wafer waarvan de grootte afhangt van het geleidingsvermogen (vierkantsweerstand). Door dit met een spoel te detecteren kan de soortelijke weerstand worden gemeten zonder de wafer aan te raken. In tegenstelling tot de vierpuntsmethode met naalden beschadigt dit het oppervlak niet en veroorzaakt het geen verontreiniging, zodat het wordt gebruikt bij ontvangstinspectie van wafers en bij het meten van de dikte van metaallagen (omgerekend uit de vierkantsweerstand). Met mapping kan ook de verdeling binnen de wafer worden beoordeeld.