Wie heißen gebrauchte Monitor-Wafer, bei denen Schichten usw. von der Oberfläche entfernt und die erneut poliert wurden, sodass sie wieder verwendbar sind?

Antwort: B. Aufbereitete Wafer (Reclaim-Wafer)

Monitor-Wafer und Dummy-Wafer werden in Fabriken in großen Mengen verwendet; nach Gebrauch werden Schichten und Kontamination von der Oberfläche durch Ätzen oder Polieren entfernt, und sie werden erneut spiegelpoliert und wiederverwendet. Das sind aufbereitete Wafer, die billiger als neue sind und Ressourcen sparen. Ein Wafer lässt sich mehrmals aufbereiten und wird dabei jedes Mal etwas dünner. Es gibt auch Unternehmen, die sich auf die Aufbereitung spezialisieren, und die zuverlässige Entfernung metallischer Kontamination ist der Schlüssel zur Qualität.