Siliciumwafers

Welk verband tussen de soortelijke weerstand van een siliciumwafer en de concentratie van de toegevoegde onzuiverheid is juist?

  1. AHoe hoger de onzuiverheidsconcentratie, hoe hoger de soortelijke weerstand
  2. BDe onzuiverheidsconcentratie en de soortelijke weerstand zijn niet aan elkaar gerelateerd
  3. CHoe hoger de onzuiverheidsconcentratie, hoe lager de soortelijke weerstand
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Hoe hoger de onzuiverheidsconcentratie, hoe lager de soortelijke weerstand

Naarmate meer onzuiverheden worden toegevoegd, neemt het aantal ladingdragers toe en daalt de soortelijke weerstand; om die reden wordt de soortelijke weerstand van de wafer in de specificatie als maat voor de onzuiverheidsconcentratie opgegeven. Bij p-type van 1 tot 10 Ω·cm ligt de boorconcentratie bijvoorbeeld in de orde van 10¹⁵ cm⁻³ en bij 0,01 Ω·cm op circa 10¹⁹ cm⁻³. Bij hogere concentraties daalt de mobiliteit door verstrooiing aan geïoniseerde onzuiverheden, zodat het verband niet eenvoudig omgekeerd evenredig is en wordt omgerekend met tabellen zoals die van ASTM.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Siliciumwafers

  1. Welke waarde ligt het dichtst bij de standaarddikte van een siliciumwafer van 300 mm?
  2. Wat is het belangrijkste doel van het regelen van de verhouding (V/G) tussen de treksnelheid van het kristal en de temperatuurgradiënt in het kristal bij de CZ-methode?
  3. Wat is de typische productiemethode voor zeer zuiver polykristallijn silicium?
  4. Hoe heet een wafer die los van productwafers door het proces wordt gestuurd om onder meer de toestand van apparatuur te controleren en laagdiktes te meten?
  5. Wat is de juiste belangrijkste reden waarom siliciumwafers een hoge vlakheid moeten hebben?

Vergelijkingen bij dit onderwerp