Siliciumwafers
Welk verband tussen de soortelijke weerstand van een siliciumwafer en de concentratie van de toegevoegde onzuiverheid is juist?
- AHoe hoger de onzuiverheidsconcentratie, hoe hoger de soortelijke weerstand
- BDe onzuiverheidsconcentratie en de soortelijke weerstand zijn niet aan elkaar gerelateerd
- CHoe hoger de onzuiverheidsconcentratie, hoe lager de soortelijke weerstand
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Hoe hoger de onzuiverheidsconcentratie, hoe lager de soortelijke weerstand
Naarmate meer onzuiverheden worden toegevoegd, neemt het aantal ladingdragers toe en daalt de soortelijke weerstand; om die reden wordt de soortelijke weerstand van de wafer in de specificatie als maat voor de onzuiverheidsconcentratie opgegeven. Bij p-type van 1 tot 10 Ω·cm ligt de boorconcentratie bijvoorbeeld in de orde van 10¹⁵ cm⁻³ en bij 0,01 Ω·cm op circa 10¹⁹ cm⁻³. Bij hogere concentraties daalt de mobiliteit door verstrooiing aan geïoniseerde onzuiverheden, zodat het verband niet eenvoudig omgekeerd evenredig is en wordt omgerekend met tabellen zoals die van ASTM.