Siliciumwafers
Wat is de typische productiemethode voor zeer zuiver polykristallijn silicium?
- ABosch-proces
- BSiemens-proces (afzetting door waterstofreductie van trichloorsilaan)
- CDamascene-proces
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Siemens-proces (afzetting door waterstofreductie van trichloorsilaan)
Bij het Siemens-proces wordt metallurgisch silicium met een zuiverheid van circa 98 % met waterstofchloride omgezet in trichloorsilaan (SiHCl3, kookpunt circa 32 °C), door destillatie gezuiverd en vervolgens op een siliciumstaaf die tot circa 1100 °C is verhit met waterstof laten reageren, waarbij zeer zuiver silicium neerslaat. Zo ontstaat polykristallijn silicium met een zuiverheid van de klasse 11N (99,999999999 %), dat als grondstof voor onder meer de CZ-methode dient. Het is een proces met een groot elektriciteitsverbruik.