Testen en inspectie
Hoe heet het proces waarbij uit de informatie over op welke uitgang en bij welk patroon een afwijking optrad bij een chip die de scantest niet haalde, logisch een kandidaatlijst van de waarschijnlijke foutlocaties wordt afgeleid?
- AFoutdiagnose (diagnosis)
- BGettering
- CLithografie
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Foutdiagnose (diagnosis)
Foutdiagnose is het proces waarbij de testresultaten van een defecte chip worden vergeleken met simulatieresultaten waarbij een fout wordt verondersteld, om de kandidaat-nets of -cellen waar de fout waarschijnlijk is op te treden te beperken. Omdat de locaties voor de doorsnede bij fysieke foutanalyse hierdoor kunnen worden beperkt, wordt de analysetijd sterk verkort. Bij volumediagnose, waarbij de diagnoseresultaten van veel defecte chips statistisch worden verzameld, worden systematische defecten gevonden die zich concentreren in bepaalde bedradingspatronen of cellen, wat helpt de yield te verbeteren.