Test und Prüfung
Wie heißt die Verarbeitung, die bei einem im Scan-Test durchgefallenen Chip aus den Informationen, bei welchem Ausgang und welchem Muster eine Abweichung auftrat, die Kandidaten für die wahrscheinlich fehlerhafte Stelle logisch eingrenzt?
- AFehlerdiagnose (Diagnosis)
- BGettering
- CLithografie
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Antwort: A. Fehlerdiagnose (Diagnosis)
Die Fehlerdiagnose gleicht die Testergebnisse eines defekten Chips mit den Ergebnissen von Simulationen unter Fehlerannahme ab und grenzt die Kandidaten für Netze und Zellen ein, an denen der Fehler wahrscheinlich liegt. Da sich die Stellen für Querschnitte bei der physikalischen Fehleranalyse eingrenzen lassen, verkürzt sich die Analysezeit stark. Bei der Volumendiagnose, die die Diagnoseergebnisse vieler defekter Chips statistisch sammelt, lassen sich systematische Defekte finden, die sich auf bestimmte Leitbahnmuster oder Zellen konzentrieren, und für die Ausbeuteverbesserung nutzen.