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Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

Quelle caractéristique de la phosphine (PH3) et de l'arsine (AsH3), utilisées pour introduire des impuretés de type n, est correcte ?

  1. AElles sont inoffensives et ne nécessitent aucune gestion particulière
  2. BElles sont extrêmement toxiques et exigent une gestion rigoureuse des fuites
  3. CElles sont ininflammables et inodores, et sans danger si elles sont rejetées dans l'air
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Réponse : B. Elles sont extrêmement toxiques et exigent une gestion rigoureuse des fuites

La phosphine et l'arsine sont des gaz si toxiques que leur concentration admissible est fixée à 0,05 ppm ou moins. On les gère rigoureusement en associant armoires à bouteilles, détecteurs de fuite, vannes de coupure d'urgence et systèmes d'abattement. Des récipients où le gaz est adsorbé sur un adsorbant poreux et délivré à une pression inférieure à la pression atmosphérique, pour limiter les fuites vers l'extérieur, sont aussi largement utilisés. Ce ne sont pas des gaz ininflammables et inoffensifs ; la phosphine est en outre inflammable.

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