Packaging en montage
Hoe heet de stap waarin vóór het zagen de achterzijde van de wafer wordt geslepen om de behuizing dunner te maken?
- ABackgrinding
- BCMP
- CEtch-back
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Backgrinding
Bij backgrinding wordt, terwijl het waferoppervlak met beschermtape wordt beschermd, de achterzijde met een roterende slijpschijf geslepen en van een dikte van ongeveer 750 µm tot de gewenste dikte gedund. Bij onder meer gestapelde geheugens wordt soms tot enkele tientallen µm gedund. Omdat de door het slijpen ontstane beschadigde laag een oorzaak van breuk is, wordt die door polijsten of etsen verwijderd. CMP is vlakmaken van het oppervlak en etch-back is een stap waarbij een film over het hele oppervlak wordt weggenomen.