Boîtiers et assemblage
Comment s’appelle l’étape qui amincit la plaquette en rectifiant sa face arrière avant la découpe, afin d’amincir le boîtier ?
- AAmincissement par rectification (back grinding)
- BCMP
- CGravure pleine plaque (etch-back)
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Réponse : A. Amincissement par rectification (back grinding)
Lors de l’amincissement, la face avant de la plaquette est protégée par un film, et une meule rotative rectifie la face arrière pour ramener l’épaisseur d’environ 750 µm à la valeur voulue. Pour les mémoires à puces empilées, on descend parfois à quelques dizaines de µm. La couche endommagée par la rectification étant source de fissures, on l’élimine par polissage ou gravure. La CMP planarise la face avant, et la gravure pleine plaque attaque un film sur toute la surface.