Nederlands
Menu

Oxidatie en diffusie

Welke indeling van de soorten lading in de oxidefilm en aan het grensvlak van een MOS-structuur wordt algemeen gebruikt?

  1. AVaste lading, mobiele ionenlading, oxidetraplading en grensvlaktraplading
  2. BGelijkstroomlading, wisselstroomlading en statische lading
  3. CGatenlading, elektronenlading en neutrale lading
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Vaste lading, mobiele ionenlading, oxidetraplading en grensvlaktraplading

Ladingen rond de oxidefilm worden in vier typen ingedeeld: de vaste lading (Qf, positief) in de oxidefilm vlak bij het grensvlak, de mobiele ionenlading (Qm) van onder meer natrium, de oxidetraplading (Qot) die door defecten in de film wordt gevangen, en de grensvlaktraplading (Qit) door grensvlaktoestanden. Alle verschuiven de flat-band-spanning en de drempelspanning, en Qit verslechtert ook de subthreshold-karakteristiek. Ze worden per type beoordeeld met C-V-metingen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Oxidatie en diffusie

  1. Welke relatie tussen oxidedikte en tijd is juist in het begin van thermische oxidatie (wanneer de oxidefilm nog dun is) volgens het Deal-Grove-model?
  2. Welke relatie tussen de dikte van het veldoxide dat voor elementisolatie zoals LOCOS wordt gebruikt en de dikte van het gate-oxide van een MOSFET is in het algemeen juist?
  3. Welke algemene definitie van de 'overgangsdiepte' van een pn-overgang is juist?
  4. Hoe heet het verschijnsel waarbij de diffusie van boor en fosfor tijdens het oxideren van silicium sneller is dan wanneer niet wordt geoxideerd?
  5. Welke afwijking van het Deal-Grove-model is bekend bij het maken van dunne oxidefilms van enkele tientallen nm of minder met droge oxidatie?

Vergelijkingen bij dit onderwerp