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Oxydation et diffusion

Quelle combinaison correspond à la classification générale des types de charges présentes dans l’oxyde d’une structure MOS et à son interface ?

  1. ACharge fixe, charge d’ions mobiles, charge piégée dans l’oxyde, charge piégée à l’interface
  2. BCharge continue, charge alternative, charge électrostatique
  3. CCharge de trous, charge d’électrons, charge neutre
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Réponse : A. Charge fixe, charge d’ions mobiles, charge piégée dans l’oxyde, charge piégée à l’interface

Les charges autour de l’oxyde se classent en quatre catégories : la charge fixe (Qf, positive) dans l’oxyde tout près de l’interface, la charge d’ions mobiles (Qm) comme le sodium, la charge piégée dans l’oxyde (Qot) par les défauts du film, et la charge piégée à l’interface (Qit) due aux états d’interface. Toutes décalent la tension de bandes plates et la tension de seuil, et Qit dégrade aussi la caractéristique sous le seuil. Chaque type est évalué par mesure C-V.

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