Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

Welke spectroscopische methode wordt veel gebruikt om de spanning (rek) in silicium lokaal en niet-destructief te beoordelen?

  1. ARaman-spectroscopie
  2. BVierpuntsmethode
  3. CC-V-meting
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Raman-spectroscopie

Raman-spectroscopie meet verstrooid licht waarvan de golflengte door wisselwerking met roostertrillingen bij laserbestraling iets verschoven is (Raman-verstrooiing). De piek van spanningsvrij silicium ligt bij ongeveer 520 cm⁻¹ en verschuift bij drukspanning naar een hogere en bij trekspanning naar een lagere waarde, ongeveer 1 cm⁻¹ per 500 MPa. Omdat de laser tot ongeveer 1 µm kan worden gefocusseerd, kunnen rek in het kanaal en spanning in de behuizing lokaal en niet-destructief worden beoordeeld.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Welke methode wordt gebruikt om holtes in soldeerverbindingen in een behuizing en de vorm van draden driedimensionaal waar te nemen zonder de behuizing te vernietigen?
  2. Welk apparaat wordt veel gebruikt om niet-destructief delaminatie aan grensvlakken tussen inkapselingskunststof en chip enz. in de behuizing te vinden?
  3. Welke methode meet, om de kwaliteit van wafers en epilagen van samengestelde halfgeleiders contactloos te beoordelen, het spectrum en de intensiteitsverdeling van het licht dat na laserbestraling wordt uitgezonden?
  4. Welke eigenschap van de donkerveldmethode, die alleen verstrooid licht opvangt, is juist in vergelijking met de lichtveldmethode die het patroonbeeld rechtstreeks bekijkt, bij defectinspectieapparatuur voor wafers?
  5. Welk apparaat tast het monsteroppervlak af met een dunne naald en meet uit de op- en neerwaartse beweging van de naald de staphoogte en de oppervlaktevorm?

Vergelijkingen bij dit onderwerp