Comment s’appelle le phénomène par lequel une microstructure mobile adhère au substrat sous l’effet de la tension superficielle, etc., pendant la fabrication ou l’utilisation d’un MEMS, et ne bouge plus ?

Réponse : B. Stiction

Les parties mobiles des MEMS sont si petites que leur surface est grande par rapport à leur masse ; elles peuvent adhérer au substrat sous l’effet de la tension superficielle lors du séchage du liquide de rinçage, des forces électrostatiques, des forces intermoléculaires ou de l’adhérence due à l’humidité. C’est la stiction, qui survient lors du séchage en fabrication ou par contact en utilisation. On la prévient par séchage supercritique, gravure en phase vapeur, revêtement d’une monocouche hydrophobe ou petites butées sur les surfaces de contact.