MEMS와 센서
MEMS 제조 중이나 사용 중에 미소한 가동부가 표면장력 등에 의해 기판에 달라붙어 움직이지 않게 되는 현상을 무엇이라 하는가?
- A래치업
- B스틱션(stiction)
- C침식(erosion)
정답과 해설 보기
정답: B. 스틱션(stiction)
MEMS의 가동부는 매우 작고 무게에 비해 표면적이 크기 때문에, 세정액이 마를 때의 표면장력, 정전기력, 분자 간 힘, 습기에 의한 부착 등으로 기판에 달라붙는 일이 있습니다. 이것이 스틱션이며, 제조 시 건조 과정에서 일어나는 것과 사용 중 접촉으로 일어나는 것이 있습니다. 초임계 건조나 기상 식각, 발수성 단분자막 코팅, 접촉면에 작은 돌기를 두는 방법으로 방지합니다.