Wie heißt das Phänomen, dass winzige bewegliche Teile bei der Fertigung oder Verwendung von MEMS durch Oberflächenspannung u. Ä. am Substrat haften bleiben und sich nicht mehr bewegen?

Antwort: B. Stiction

Bewegliche Teile von MEMS sind sehr klein und haben im Verhältnis zum Gewicht eine große Oberfläche, sodass sie durch Oberflächenspannung beim Trocknen der Reinigungsflüssigkeit, elektrostatische Kräfte, Molekularkräfte oder Haftung durch Feuchtigkeit am Substrat kleben bleiben können. Das ist Stiction, die sowohl beim Trocknen in der Fertigung als auch durch Kontakt während des Betriebs auftreten kann. Sie wird vermieden durch überkritisches Trocknen, Gasphasenätzen, Beschichtung mit wasserabweisenden Monoschichten und kleine Erhebungen auf den Kontaktflächen.