MEMS・センサ MEMSの製造中や使用中に、微小な可動部が表面張力などによって基板に張り付き、動かなくなる現象を何と呼ぶか。 Aラッチアップ Bスティクション Cエロージョン 答えと解説を見る 正解：B. スティクション MEMSの可動部は非常に小さく、重さに比べて表面の力の影響が大きいため、洗浄液が乾くときの表面張力や、静電気力、分子間力などで基板に張り付いてしまうことがあります。これをスティクションといい、超臨界乾燥や気相でのエッチング、表面処理などで防ぎます。