Lithografie
Wat is de juiste betekenis van de „half pitch”, die als maat voor schaalverkleining wordt gebruikt?
- ADe helft van de lengte van een zijde van de chip
- BDe helft van de diameter van de wafer
- CDe helft van de periode (pitch) van lijn en spatie samen in een herhalend patroon
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. De helft van de periode (pitch) van lijn en spatie samen in een herhalend patroon
Bij een patroon waarin lijnen en spaties zich herhalen, is de lengte van één lijn en één spatie samen de pitch, en de helft daarvan de half pitch. Als lijnbreedte en spatie gelijk zijn, is de half pitch gelijk aan de lijnbreedte. Vroeger was de half pitch van DRAM de naam van de generatie (bijvoorbeeld de 90 nm-generatie). Omdat de resolutiegrens eigenlijk door de pitch wordt bepaald, wordt de schaalverkleining van logica nu vergeleken aan de hand van de kleinste bedradingspitch en gatepitch (CPP).