Nederlands
Menu

Lithografie

Hoe heet de markering die op de wafer wordt aangebracht om bij belichting het volgende patroon nauwkeurig over het in een voorgaande stap gemaakte patroon te leggen?

  1. AUitlijnmarkering (alignment mark)
  2. BNotch
  3. CScribe
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Uitlijnmarkering (alignment mark)

Een alignment mark is een patroon, zoals een rooster, voor uitlijning dat buiten de chips op de wafer wordt aangebracht (bijvoorbeeld op de scribe line). Het belichtingsapparaat detecteert het met onder meer lichtdiffractie en corrigeert positie, rotatie en uitrekking van de wafer en zelfs lokale vervorming binnen de wafer, zodat de volgende laag nauwkeurig over het patroon van de vorige wordt gelegd. Op één wafer worden soms tientallen markeringen gemeten, en de markering zelf wordt zo ontworpen dat ze niet door de bewerking wordt aangetast.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Lithografie

  1. Wat is de juiste betekenis van „CDU”, dat in lithografie wordt beheerd?
  2. Hoe heet het materiaal waarbij op een kwartsglassubstraat vooraf een lichtblokkerende film en dergelijke is aangebracht en dat wordt gebruikt om fotomaskers te maken?
  3. Welke eigenschap van de methode waarbij zonder masker met een elektronenbundel rechtstreeks een patroon op de resist op de wafer wordt geschreven, is juist?
  4. Welke methode om licht van 13,5 nm te maken in de lichtbron van EUV-belichtingsapparatuur is juist?
  5. Hoe heet de behandeling waarbij na het aanbrengen van resist met spin-coating de aan de rand van de wafer opgehoopte resist met oplosmiddel wordt verwijderd?

Vergelijkingen bij dit onderwerp