Welche Strukturierungstechnik nutzt die Eigenschaft von Blockcopolymeren, von selbst regelmäßige feine Muster zu bilden?

Antwort: B. Directed Self-Assembly (DSA)

Blockcopolymere sind Materialien, in denen zwei Polymere unterschiedlicher Eigenschaften (z. B. Polystyrol und PMMA) verbunden sind; da sie sich zu trennen versuchen, bilden sie von selbst regelmäßige Streifen- oder Punktmuster mit einigen nm bis einigen zehn nm, bestimmt durch die Moleküllänge. DSA steuert Position und Ausrichtung mit lithografisch erzeugten Führungsstrukturen und erzeugt Muster, die feiner als die Auflösungsgrenze sind. Es ist möglicherweise eine kostengünstige Miniaturisierung, doch geringe Defektdichte ist eine Herausforderung für die Serienfertigung.