Quelle technique de formation de motifs exploite la propriété des copolymères à blocs de former spontanément des motifs fins et réguliers ?

Réponse : B. Auto-assemblage dirigé (DSA)

Un copolymère à blocs est un matériau formé de deux polymères de natures différentes liés entre eux (par exemple polystyrène et PMMA) ; cherchant à se séparer, ils forment spontanément des motifs réguliers de bandes ou de points de quelques nm à quelques dizaines de nm, dont la taille dépend de la longueur des molécules. Le DSA contrôle la position et l'orientation de cet arrangement à l'aide de motifs guides réalisés par lithographie, afin de créer des motifs plus fins que la limite de résolution. Il pourrait permettre une miniaturisation peu coûteuse, mais la réduction des défauts reste un défi pour la production.