Lithografie
Wat is de golflengte van de i-lijn van een kwiklamp?
- A365 nm
- B436 nm
- C193 nm
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. 365 nm
Van het licht van een kwiklamp is de g-lijn 436 nm en de i-lijn 365 nm, en er is ook de h-lijn (405 nm). In de jaren 80 werd de g-lijn en in het begin van de jaren 90 de i-lijn de hoofdstroom, en ze droegen tot de 0,35 µm-generatie het voortouw. i-lijn-belichtingsapparaten zijn goedkoop en de lichtbron gaat lang mee, dus ze worden nog steeds veel gebruikt voor lagen die niet zo fijn hoeven te zijn, vermogenscomponenten, MEMS, een deel van de beeldsensoren en herbedrading in packages. 193 nm is de golflengte van ArF.