Lithografie

Wat is de golflengte van de i-lijn van een kwiklamp?

  1. A365 nm
  2. B436 nm
  3. C193 nm
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. 365 nm

Van het licht van een kwiklamp is de g-lijn 436 nm en de i-lijn 365 nm, en er is ook de h-lijn (405 nm). In de jaren 80 werd de g-lijn en in het begin van de jaren 90 de i-lijn de hoofdstroom, en ze droegen tot de 0,35 µm-generatie het voortouw. i-lijn-belichtingsapparaten zijn goedkoop en de lichtbron gaat lang mee, dus ze worden nog steeds veel gebruikt voor lagen die niet zo fijn hoeven te zijn, vermogenscomponenten, MEMS, een deel van de beeldsensoren en herbedrading in packages. 193 nm is de golflengte van ArF.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Lithografie

  1. Welke techniek verhoogt de resolutie van fijne patronen door het masker vanuit een schuine richting te belichten?
  2. Welke methode ontwikkelt positieve chemisch versterkte resist met een organisch oplosmiddel en lost de niet-belichte delen op?
  3. Welk voordeel van resist met metaaloxide, die voor EUV-belichting wordt ontwikkeld, is juist?
  4. Welke patroonvormingstechniek maakt gebruik van de eigenschap van blokcopolymeren om vanzelf regelmatige fijne patronen te vormen?
  5. Welke rol heeft lithografie in de halfgeleiderproductie?

Vergelijkingen bij dit onderwerp