Nederlands
Menu

Ionenimplantatie

Welk gas wordt kenmerkend gebruikt in de ionenbron van een ionenimplanter om boorionen te maken?

  1. ABoortrifluoride (BF3)
  2. BArgon
  3. CZuurstof
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Boortrifluoride (BF3)

In de ionenbron wordt gas zoals BF3 door boogontlading of thermo-elektronen ontleed en geïoniseerd, worden ionen zoals B⁺ en BF2⁺ gemaakt en door een elektrisch veld onttrokken. Voor fosfor wordt fosfine (PH3), voor arseen arsine (AsH3) en voor germanium onder meer GeF4 gebruikt. Alle zijn zeer giftig, dus in plaats van hogedrukcilinders worden veilige gascontainers gebruikt waarin het gas bij lage druk aan een adsorbens is gebonden, zodat lekken moeilijk is. De gewenste ionen worden in de massa-analysator geselecteerd.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Ionenimplantatie

  1. Welk voorbeeld van een toepassing van ionenimplantatie met hoge energie tot enkele MeV is juist?
  2. Als dopeerstof met een dosis van 1×10¹⁵ cm⁻² uniform over een diepte van 100 nm is verdeeld, hoe groot is dan de gemiddelde concentratie ongeveer?
  3. Welke ionenimplantatie wordt gebruikt voor het afsplitsen van wafers (Smart Cut) en voor lifetimecontrole in vermogenscomponenten?
  4. Hoe heet het defect dat achterblijft op een iets grotere diepte dan de grens tussen de oorspronkelijke amorfe laag en het kristal wanneer een amorf gemaakte laag opnieuw wordt gekristalliseerd?
  5. Welke omschrijving van het principe van ionenimplantatie is juist?

Vergelijkingen bij dit onderwerp