이온 주입

이온 주입 장치의 이온 소스에서 붕소 이온을 만드는 데 사용되는 대표적인 가스는 무엇인가?

  1. A삼불화붕소(BF3)
  2. B아르곤
  3. C산소
정답과 해설 보기

정답: A. 삼불화붕소(BF3)

이온 소스에서는 BF3 등의 가스를 아크 방전이나 열전자로 분해·이온화하여 B⁺나 BF2⁺ 등의 이온을 만들고 전계로 끌어냅니다. 인에는 포스핀(PH3), 비소에는 아르신(AsH3), 게르마늄에는 GeF4 등을 사용합니다. 모두 독성이 강하므로, 고압 봄베 대신 흡착재에 저압으로 보관하여 누출되기 어렵게 한 안전한 가스 용기가 사용됩니다. 목적 이온은 질량 분석부에서 골라집니다.

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