Ionenimplantation

Welches Gas wird in der Ionenquelle einer Ionenimplantationsanlage typischerweise zur Erzeugung von Borionen verwendet?

  1. ABortrifluorid (BF3)
  2. BArgon
  3. CSauerstoff
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Antwort: A. Bortrifluorid (BF3)

In der Ionenquelle werden Gase wie BF3 durch Bogenentladung oder thermische Elektronen zerlegt und ionisiert, sodass Ionen wie B⁺ und BF2⁺ entstehen, die mit einem elektrischen Feld extrahiert werden. Für Phosphor wird Phosphin (PH3), für Arsen Arsin (AsH3) und für Germanium z. B. GeF4 verwendet. Da alle stark giftig sind, werden statt Hochdruckflaschen sichere Gasbehälter eingesetzt, in denen das Gas bei niedrigem Druck an einem Adsorptionsmaterial gehalten wird und schwer austritt. Die gewünschten Ionen werden im Massenanalysator ausgewählt.

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