Ionenimplantatie
Als dopeerstof met een dosis van 1×10¹⁵ cm⁻² uniform over een diepte van 100 nm is verdeeld, hoe groot is dan de gemiddelde concentratie ongeveer?
- A1×10¹⁸ cm⁻³
- B1×10²² cm⁻³
- C1×10²⁰ cm⁻³
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. 1×10²⁰ cm⁻³
De concentratie is „dosis ÷ diepte”, en omdat 100 nm = 1×10⁻⁵ cm is, is 1×10¹⁵ ÷ 1×10⁻⁵ = 1×10²⁰ cm⁻³. Vergeleken met de atoomdichtheid van silicium van 5×10²² cm⁻³ is dat 1 op de 500 atomen. Sterk gedoteerde gebieden zoals source en drain hebben een concentratie van deze orde, dicht bij de oplosbaarheid, dus de sleutel tot lage weerstand is hoe sterk de activering kan worden verhoogd. De werkelijke verdeling is gaussisch, dus de piekconcentratie is hoger dan dit gemiddelde.