Ionenimplantatie
Welke combinatie van de verdeling die de diepteverdeling van de dopeerstof na ionenimplantatie bij benadering beschrijft en de grootheid die de diepte van de piek aangeeft, is juist?
- AEen uniforme verdeling, met de piek altijd aan het oppervlak
- BEen gaussische verdeling, waarbij de diepte van de piek de projected range (Rp) heet
- CEen exponentiële verdeling, waarbij de diepte van de piek de diffusielengte heet
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Een gaussische verdeling, waarbij de diepte van de piek de projected range (Rp) heet
De verdeling van geïmplanteerde dopeerstof is bij benadering gaussisch, waarbij de diepte van de piek de projected range Rp is en de spreiding de standaardafwijking ΔRp. De piekconcentratie kan worden geschat als „dosis ÷ (2,5 × ΔRp)”. Rp en ΔRp worden bepaald door versnellingsenergie en ion- en substraatsoort, en er zijn tabellen beschikbaar. In werkelijkheid is de verdeling asymmetrisch of strekt de staart zich door channeling naar de diepe kant uit, dus nauwkeurigere verdelingsfuncties en simulaties worden gebruikt.