이온 주입

이온 주입 후 불순물의 깊이 방향 분포를 근사적으로 나타내는 분포와, 그 피크 깊이를 나타내는 양의 조합으로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A균일 분포이며, 피크는 항상 표면
  2. B가우스 분포이며, 피크 깊이를 투영 비정(Rp)이라고 한다
  3. C지수 분포이며, 피크 깊이를 확산 길이라고 한다
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정답: B. 가우스 분포이며, 피크 깊이를 투영 비정(Rp)이라고 한다

이온 주입한 불순물의 분포는 근사적으로 가우스 분포이며, 피크 깊이를 투영 비정 Rp, 퍼짐을 표준편차 ΔRp로 나타냅니다. 피크 농도는 대략 '도즈 ÷ (2.5 × ΔRp)'로 어림할 수 있습니다. Rp와 ΔRp는 가속 에너지와 이온·기판의 종류로 정해지며 표가 마련되어 있습니다. 실제로는 분포가 좌우 비대칭이 되거나 채널링으로 꼬리가 깊은 쪽으로 늘어나기 때문에, 더 정밀한 분포 함수나 시뮬레이션이 사용됩니다.

이온 주입 후 불순물의 깊이 분포 깊이 표면 불순물 농도 Rp(투영 비정) ΔRp(퍼짐) 피크 채널링으로 생기는 꼬리
이온 주입 후 불순물의 깊이 분포 · 도해에서 보기
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