Ionenimplantatie

Eenwaardige ionen worden geïmplanteerd in een wafer met een oppervlak van 100 cm² met een dosis van 1×10¹⁵ ions/cm². Hoe lang duurt de implantatie ongeveer bij een bundelstroom van 1 mA? (Elementaire lading 1,6×10⁻¹⁹ C)

  1. AOngeveer 160 seconden
  2. BOngeveer 1,6 seconden
  3. COngeveer 16 seconden
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Ongeveer 16 seconden

Het totale aantal geïmplanteerde ionen is 1×10¹⁵ × 100 = 1×10¹⁷ en hun lading is 1×10¹⁷ × 1,6×10⁻¹⁹ = 1,6×10⁻² C. Gedeeld door de stroom 1 mA = 1×10⁻³ C/s geeft dit 16 seconden. In een echt apparaat valt een deel van de bundel buiten de wafer en komt de scantijd voor heen en weer erbij, dus het duurt langer. Bundels van enkele tientallen mA in high-current-apparaten worden gebruikt om de productiviteit bij implantaties met hoge dosis te verhogen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Ionenimplantatie

  1. Hoe heet bij de wellvorming in CMOS de well waarin met hoge-energie-ionenimplantatie de dopeerconcentratie dieper dan aan het oppervlak hoog is gemaakt?
  2. Wat is het belangrijkste doel van halo-(pocket-)implantatie, waarbij schuin dopeerstof van hetzelfde geleidingstype als het kanaal aan de rand van source en drain wordt geïmplanteerd?
  3. Waarom wordt voor het maken van een ondiepe p-laag soms BF2⁺-ionen in plaats van boor alleen geïmplanteerd?
  4. Hoe heet het verschijnsel waarbij in de beginfase van de anneal na ionenimplantatie de diffusie van boor en dergelijke tijdelijk sneller verloopt door de invloed van interstitieel silicium dat door de implantatie is ontstaan?
  5. Welke ionenimplanter wordt gebruikt om, zoals bij de vorming van source en drain, een grote dosis in korte tijd te implanteren?

Vergelijkingen bij dit onderwerp