Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)
Waarom worden SiGe of germanium overwogen en toegepast als kanaalmateriaal voor pMOS in plaats van silicium?
- AOmdat de mobiliteit van gaten hoog is
- BOmdat de mobiliteit van elektronen zeer laag is
- COmdat het materiaal goedkoop is
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Omdat de mobiliteit van gaten hoog is
Germanium en SiGe hebben een kleine effectieve massa van gaten en een hogere gatenmobiliteit dan silicium, waardoor de aandrijfstroom van pMOS groter kan worden. SiGe heeft eigenschappen die dicht bij die van silicium liggen en is gemakkelijk in bestaande processen op te nemen, en doordat de bandposities verschuiven helpt het ook bij het instellen van de drempelspanning in combinatie met een metal gate; het wordt daarom in geavanceerde processen voor het kanaal van pMOS gebruikt. Kanalen met 100% Ge worden ook onderzocht.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)