Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)
Welke uitspraak over de SOI-structuur (Silicon On Insulator) is juist?
- AEen transistorstructuur zonder gate-isolator
- BEen structuur waarbij transistoren worden gemaakt in een dunne siliciumlaag op een ingebed oxide
- CEen structuur van twee op elkaar gestapelde chips
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Een structuur waarbij transistoren worden gemaakt in een dunne siliciumlaag op een ingebed oxide
SOI is een structuur waarbij transistoren worden gemaakt in een dunne siliciumlaag boven een oxidelaag (BOX-laag) die in het siliciumsubstraat is ingebed. Doordat de componenten van het substraat zijn geïsoleerd, zijn junctiecapaciteit en lekstroom klein en treedt geen latch-up op. De wafer wordt gemaakt met onder meer de smart-cutmethode, waarbij wafers met oxidefilm op elkaar worden gebonden en een van beide wordt gedund. SOI wordt veel gebruikt voor hoogfrequentschakelaars (RF-SOI) en voor FD-SOI voor laag vermogen.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)