Etsen
Hoe dik is de film die wordt weggeëtst als 3 minuten wordt geëtst bij een etssnelheid van 100 nm/min?
- ACirca 3.000 nm
- BCirca 33 nm
- CCirca 300 nm
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Circa 300 nm
De weggeëtste dikte is 'etssnelheid × tijd', dus 100 nm/min × 3 min = 300 nm. In werkelijkheid wordt, rekening houdend met spreiding in laagdikte en etssnelheid, na detectie van het eindpunt nog wat extra geëtst (overetsen). Omgekeerd geldt dat voor het etsen van een film van 500 nm 5 minuten nodig zijn, en met 20% overetsen circa 6 minuten. In de apparatuur worden deze tijd en eindpuntdetectie gecombineerd beheerst.